چین از اولین دستگاه لیتوگرافی بومی خود رونمایی کرد_اسپایدر

چین از اولین دستگاه لیتوگرافی پرتوی الکترونی (e-beam) خود با نام «شی‌ژی» (Xizhi) رونمایی کرد. این دستگاه که در دانشگاه ژجیانگ گسترش یافته، گامی مهم در کوششهای این سرزمین برای دستیابی به خودکفایی در صنعت تراشه و عبور از تحریم‌های آمریکا محسوب می‌بشود.

چین به علت تحریم‌های آمریکا و هلند از دسترسی به گسترش یافتهترین دستگاه‌های لیتوگرافی فرابنفش شدید (EUV) ساخت شرکت هلندی ASML محروم است؛ دستگاه‌هایی که برای تشکیل تراشه‌های زیر ۷ نانومتر الزامی می باشند. اکنون به نقل از SCMP، چین از اولین دستگاه لیتوگرافی پیشرفته برای خودکفایی رونمایی کرده است.

اولین دستگاه لیتوگرافی بومی چین

دستگاه «شی‌ژی» با منفعت گیری از یک پرتوی الکترونی متمرکز، الگوهای مدارهای الکترونیکی را با دقتی زیاد بالا روی ویفرهای سیلیکونی حک می‌کند. این فناوری قادر است خطوطی به باریکی ۸ نانومتر را با دقت موقعیت‌یابی ۰.۶ نانومتر تشکیل کند که با استانداردهای بین‌المللی مطابقت دارد. این دستگاه که نام خود را از یک خوشنویس مشهور چینی باستان گرفته، به‌طور قابل‌توجهی ارزان‌تر از مثالهای وارداتی شبیه است و می‌تواند بن‌بست ایجادشده برای مؤسسات تحقیقاتی در چین را بشکند.

بااین‌حال، یک محدودیت مهم وجود دارد: لیتوگرافی پرتوی الکترونی برخلاف فناوری‌های DUV و EUV، برای تشکیل زیاد تراشه مناسب نیست. شدت پایین‌تر آن علتمی‌بشود که این دستگاه زیاد تر برای آزمایش، تحقیق‌وتوسعه و ساخت مثالهای اولیه کارآمد باشد تا تشکیل تجاری در مقیاس گسترده. بااین‌حال، این دستاورد به چین اجازه می‌دهد تا در طراحی و آزمایش تراشه‌های پیشرفته، وابستگی خود را به خارج افت دهد و چرخه نوآوری داخلی را تسریع کند.

رونمایی از «شی‌ژی» تنها بخشی از تلاش گسترده‌تر چین برای بومی‌سازی کامل زنجیره فراهم نیمه‌رسانا‌ها است. در همین جهت، گزارش‌های تأییدنشده حاکی از آن است که هواوی درحال آزمایش یک دستگاه EUV ساخت خود در کارخانه‌اش در دونگوان است و احتمالا تشکیل زیاد با این فناوری را در سال ۲۰۲۶ اغاز کند. اگر هواوی بتواند به فناوری ساخت دستگاه EUV دست یابد، این یک نقطه عطف تاریخی خواهد می بود که می‌تواند موازنه قوت را در صنعت جهانی تراشه به‌طور کامل تحول دهد و به شرکت‌هایی همانند هواوی و SMIC اجازه دهد تا با غول‌های آمریکایی همانند اپل، کوالکام و انویدیا رقابت کنند.